序号

项目

规格

检测方法

材料特性

1

生长方式

定向凝固法

-

2

掺杂剂

硼掺杂

-

3

型号

P型

P/N型测试仪

4

氧含量

≤5.0×10¹⁷ atoms/cm³

FTIR(ASTM F121-83)
傅里叶变换红外光谱仪

5

碳含量

≤7.0×10¹⁶ atoms/cm³

FTIR(ASTM F123-91)
傅里叶变换红外光谱仪

6

杂质（mm）

尺寸≤2且个数≤5个

PlB R55i

电学特性

1

阻率

0.8-2 Ω·cm

RT-1000

2

硅棒少子寿命

≥6.0us

WT2010D