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单晶方棒


单晶方棒为高效单晶圆棒通过切断-开方-磨面倒角加工工艺后,配合过程管控而制备得到的断面平整、侧面一定几何尺寸的单晶硅棒。

序号

项目

规格

检测方法

几何尺寸

1

外形

准方


2

边长

166mm±0.25mm
158.75mm±0.25mm
156.75mm±0.25mm

游标卡尺

3

对角线

223mm±0.25mm
212mm±0.25mm
210mm±0.25mm

游标卡尺

5

弦长极差

同面 ≤ 0.3mm
异面 ≤ 0.6mm

游标卡尺

6

直角度

90±0.2º

角度尺

7

侧面晶向

﹤010﹥±3º,﹤001﹥±3º

X射线衍射仪


粗糙度

侧面 Ra ≤ 0.3um

倒角 Ra ≤ 1um

Mitutoyo SJ-210

粗糙度测试仪

8

端面垂直度

≤1mm

直角尺/塞尺

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