序号

项目

规格

检测方式

材料特性

1

生长方式

直拉法 (CZ)

-

2

掺杂剂

硼掺杂

-

3

型号

P型

P/N型测试仪

4

间隙氧含量

≤8.0×10¹⁷ atoms/cm³

FTIR(ASTM F121-83)
傅里叶变换红外光谱仪

5

替位碳含量

≤5.0×10¹⁶ atoms/cm³

FTIR(ASTM F123-91)
傅里叶变换红外光谱仪

6

表面晶向

﹤100﹥±3º

X射线衍射仪

8

位错密度

≤500 pcs/cm²

择优化学腐蚀法(ASTM F47-88)

电学特性

1

电阻率

■ 0.5-1.5 Ω·cm

□ 1.0-3.0 Ω·cm
□ 其它：  Ω·cm

四探针电阻率测试仪

2

硅棒少子寿命

≥50us

Sinton BCT-400（SEMI PV13）