项目 | 规格 | 检测方法 |
生长方式 | 直拉法 | -- |
结晶性 | 单晶 | -- |
几何尺寸 |
M10:182.2*182.2*φ247mm M10-L:182.2*183.75*φ247mm |
硅片自动检测设备 |
厚度 | 130±8μm | 硅片自动检测设备 |
项目 | 规格 | 检测方法 |
电阻率 | 0.4-1.6 Ω.cm | 硅片自动检测设备 |
少子寿命 | ≥1000/μs |
瞬态光电导衰减法 注入水平:5E14cm-3 (Sinton BCT-400) |
氧含量 | ≤6E+17 at/cm³ | 傅里叶变换红外光谱仪 |
碳含量 | ≤ 5E+16 at/cm³ | 傅里叶变换红外光谱仪 |