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P型硅片


材料特性

项目 规格 检测方法
生长方式 直拉法 --
结晶性 单晶 --
导电类型 P型 P/N型测试仪
尺寸 M10:182.2*182.2*φ247mm
G12: 210*210*φ295mm
硅片自动检测设备
厚度 M10:150±10µm 140±10µm
G12:150±10µm
硅片自动检测设备

电性能

项目 规格 检测方法
电阻率 0.4-1.1 Ω.cm 硅片自动检测设备
少子寿命 ≥70μs 准稳态光电导衰减法/瞬态光电导衰减法 注入水平:1E15 cm⁻³(Sinton BCT-400)
氧含量 ≤7.5E+17 at/cm³ 傅里叶变换红外光谱仪
碳含量 ≤ 5E+16 at/cm³ 傅里叶变换红外光谱仪
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